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ITOyabosports手机客户端生产工艺相关参数及分类汇总

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在普通yabosports手机客户端的一个表面镀上一层氧化铟锡的导电膜,就形成了LCD常用的氧化铟锡yabosports手机客户端,通常简称为ITOyabosports手机客户端。

基本结构

基板:

常用的基板厚度有1.1mm;0.7mm;0.5mm;0.5mm,0.4mm

根据材料的不同,通常分为钠钙yabosports手机客户端和硼硅yabosports手机客户端两种。

钠钙型yabosports手机客户端

优点:成本低

缺点:含有钠、钾等离子,易产生渗透,影响产品性能

硼硅型yabosports手机客户端

优点:yabosports手机客户端硬度高,透过率好

缺点:成本较高

钠钙型yabosports手机客户端基本成分:

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SiO2层:

SiO2层的作用:

主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散渗透到ITO层中,影响ITO层的导电能力。

SiO2层的膜厚:

标准膜厚一般为20-30nm。

ITO(indium Tin Oxid)层:

为氧化铟锡的透明导电层,其中I表示In2O3,T表示SnO2,一般Sn(即Tin)的含量约为10%。随着ITO层厚度的增加,ITO层的厚度逐渐减小。

分类

根据基板yabosports手机客户端表面状态的不同,通常分为以下三种类型:

TN:未抛光型,直接在yabosports手机客户端的浮法面进行镀膜。

HTN:简单抛光型/TN精选yabosports手机客户端,将yabosports手机客户端的浮法面进行简单的抛光后,在抛光面进行镀膜。

STN:超抛光型,将yabosports手机客户端的浮法面进行精细的抛光后,在抛光面进行镀膜。

生产工艺

ITOyabosports手机客户端的生产工艺流程主要分为以下三个步骤:

1、切割倒角:

2、抛光;

3、镀膜

注:TN型yabosports手机客户端不需要抛光,生产工艺流程更简单。

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切割磨边的工艺流程:

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磨边类型及规格要求:

通常分为C型和R型两种

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倒角的形状及公差:

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抛光工艺流程:

用研磨料将yabosports手机客户端表面磨平,使yabosports手机客户端表面平整。对于STN型ITOyabosports手机客户端是必须经过的一道生产流程。

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镀膜工艺流程:

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镀膜方法:

镀膜的方法有:喷雾法;涂覆法;浸渍法;化学气相沉积法;真空蒸发法;测射法,但目前工业化最有效的方法是磁控测射法。

磁控测射法:

在高真空反应室中充入一定比例的02和Ar的混合气体,在直流高压下,Ar被电离,在电场作用下轰击靶材,使铟和锡以原子和离子形式溅射出来,沉积在基板yabosports手机客户端表面,同时被氧化,形成氧化铟锡膜。

评价参数

透过率

在波长为550nm的光波照射下,具有SI02阻挡层yabosports手机客户端的透过率不小于80%,其主要取决于yabosports手机客户端材料、ITO厚度和折射率。

透过率定义:

透过yabosports手机客户端的光透量T2与入射光透量T1之比的百分率

Tt=T2/T1X100%

方块电阻:

d为膜厚,I为电流,L1为膜厚在电流方向上的长度,L2为膜层在垂直电流方向的长度,ρ为导电膜的体电阻率。ρ和d可以认为是不变的定值,当L1=L2时,为正方形的膜层,无论方块大小如何,其电阻率为定值ρ/d,这就是方块电阻的定义,即R=ρ/d

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平整度

平整度可用h/1表示,意思为在长度为L的范围内,表面最高点与最低点的差值为h。

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ITOyabosports手机客户端基板平整度参数包括:

1、yabosports手机客户端表面粗糙度;

2、基板表面波纹度;

3、基板翘曲度;

4、基板垂直度‘

5、ITO膜表面粗糙度;

6、ITOyabosports手机客户端基板、膜厚均匀度。

基板翘曲度

用h/L表示(如图),即翘曲的高度与翘起边的长度之比。

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其中要求如下:

1、厚度≥0.7mm的基片yabosports手机客户端,翘曲度(h/L)≤0.1%

2、厚度≤0.55mm的基片yabosports手机客户端,翘曲度(h/L)≤0.15%

3、不允许有S形翘曲

基板垂直度:用a/L表示(如图)。用来描述yabosports手机客户端基板四条边互相垂直的程度。

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化学稳定性

ITO镀膜层的耐化学性能应符合表2中技术要求。

a、耐碱性

镀层在温度为60±2℃,浓度为10%的氢氧化钠(分析纯)溶液中浸泡5分钟,ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。

b、耐酸性

在25±2℃,6%盐酸(分析纯)溶液中浸泡2分钟,ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。

c、耐溶剂性能

将镀膜yabosports手机客户端放入丙酮(分析纯)、无水乙醇(分析纯)中浸泡5分钟后,ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过10%。

热稳定性

在空气中经过30分钟300±5℃(触摸屏用ITOyabosports手机客户端是在200±5℃)高温后,ITO膜的方阻的变化率小于300%

附着力

用3M交代粘在yabosports手机客户端表面迅速撕开,ITO层无明显开裂现象。

ITO膜面的判定

浮法方向:

在基板yabosports手机客户端制造过程中,液态yabosports手机客户端流动的方向。

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主要判定方法

(1)将万用表打至欧姆档,用探针分别测试两个点,如果显示不“1”,则所测试面为ITO膜面。

(2)用方块电阻测试仪测试面电阻,如果显示电阻无穷大,则所测面为非ITO膜面。

(3)通过大角设别:以16X14英寸的yabosports手机客户端为例。

常见问题

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